超精密ステージ駆動用非共振型超音波アクチュエータの周波数可変制御法

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-31

グループ名: 【D】平成16年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2004/09/14

著者名: 橋本誠司 (群馬大学),大石卓也 (群馬大学),石川赴夫 (群馬大学),大石　潔 (長岡技術科学大学),小坂光二 (熊本テクノロジー),久保田　弘 (熊本大学),大見忠弘 (東北大学)

キーワード: 非共振型超音波アクチュエータ|可変周波数駆動|スケジュールド制御

要約(日本語): 非共振型超音波アクチュエータ(SPIDER)駆動精密ステージの周波数可変制御法の提案周波数変化に対するアクチュエータ性能とその特徴（図参照）周波数変化に対する構造変化の検証とスケジュールド制御による軌跡追従性能の改善

PDFファイルサイズ: 1,593 Kバイト