磁気軸受を用いたモード分離制振

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-43

グループ名: 【D】平成16年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2004/09/14

著者名: 田中寿也 (東京農工大学),赤津　観 (東京農工大学),涌井伸二 (東京農工大学)

キーワード: 磁気軸受|制振|振動モード|モード分離補償器

要約(日本語): 半導体作成プロセス内で通常真空装置として用いられているターボ分子ポンプを,制振装置として用いることで,省スペース,低コスト化を図ることができる筆者らが先に提案したモード分離補償器によって,1次,2次モードを分離することが可能であり,これを用いてモード別制振を実現できる本稿では,アクチュエータ二つで実験を行うため,ターボ分子ポンプの代わりにVCMを用い,1次,2次モードにおいて良好な制振結果を得た本稿でVCM二つを用いて得られた結果は,ターボ分子ポンプによっても実現できるという可能性の検証となる

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