MOS-FETインバータを用いた高効率誘導熱プラズマ生成とその特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2008-01-22 00:00:00

グループ名: 【D】平成17年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/29

著者名: 花岡栄三郎 (金沢大学),田中康規 (金沢大学),上杉喜彦 (金沢大学)

キーワード: MOS-FETインバータ|誘導熱プラズマ|電力効率

要約(日本語): MOS-FETを用いた高周波電源による高効率誘導熱プラズマの生成

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