プラズマ源への応用のための高周波インバータの基礎研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2008-01-23 00:00:00

グループ名: 【D】平成17年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/29

著者名: 木村周作 (神戸大学),米森秀登 (神戸大学),八坂保能 (神戸大学)

キーワード: 超高速MOSFET|高周波インバータ

要約(日本語): プラズマ源への応用を目的として、超高速MOSFETを用いた高周波インバータの試作を行った。ハーフブリッジインバータでの実験では、ハイサイドスイッチングにおける問題を確認した。PLL回路を用いてゲート入力信号のパルス幅制御を行い、出力制御特性を調べた。

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