半導体産業の精密ステージとモーションコントロール

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-S4-5

グループ名: 【D】平成17年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/29

著者名: 橋本誠司 (群馬大学),石川赴夫 (群馬大学),大石潔 (長岡技術科学大学),小坂光二 (テック,コンシェルジェ熊本),久保田弘 (熊本大学),大見忠弘 (東北大学)

キーワード: 精密ステージ|超音波アクチュエータ|摩擦駆動|精密位置決め

PDFファイルサイズ: 3,900 Kバイト