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弾性表面波モータ

弾性表面波モータ

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-O3-2

グループ名: 【D】平成18年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2006/08/21

タイトル(英語): Surface acoustic wave motor

著者名: 黒澤 実(東京工業大学)

著者名(英語): Minoru Kurosawa(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロアクチュエータ|リニアモータ|超音波モータ|弾性表面波| Micro actuator| Linear motor| Ultrasonic motor| Surface acoustic wave

PDFファイルサイズ: 7,024 Kバイト

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