電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-O3-3

グループ名: 【D】平成18年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2006/08/21

タイトル(英語): A Fabrication of Spiral Microcoil for a Sorenoidal Electromagnetic Microactuator

著者名: 服部 正(兵庫県立大学),野田 大二(兵庫県立大学),嶋田 修(進工業),佐藤 憲昭(樹研工業),清水 正巳(ジュケンファインツール),山下 満(兵庫県立工業技術センター),銘苅春隆 (産業技術総合研究所)

著者名(英語): Tadashi Hattori(University of Hyogo),Daiji Noda(University of Hyogo),Osamu Shimada(SUSUMU Co.,Ltd.),Noriaki Sato(Juken Kogyo Co.,Ltd.),Masami Shimizu(Juken Fine Tool Co.,Ltd.),Michiru Yamashita(Hyogo Prefectural Institute of Technology),Harutaka Mekaru(Advanced Industrial)

キーワード: マイクロアクチュエータ|電磁型アクチュエータ|LIGAプロセス| Microactuator| Electromagnetic actuator| LIGA process

PDFファイルサイズ: 3,675 Kバイト