中波帯マグネトロンスパッタリング電源装置のシミュレーションと実験

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-37

グループ名: 【D】平成18年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2006/08/21

タイトル(英語): Simulation and Experimental Researchs on Medium-Frequency Power Supply for Magnetron Sputtering

著者名: 陳文光 (南華大学),藤田 吾郎(芝浦工業大学)

著者名(英語): Wenguang Chen(School of Electrical Engineering,Nanhua University),Goro Fujita(Shibaura Institute of Technology)

キーワード: マグネトロンスパッタリング|電源装置|PWM制御|シミュレーション| Magnetron Sputtering| power supply| PWM| simulation

PDFファイルサイズ: 2,811 Kバイト