150kWゾーンコントロール誘導加熱用高周波インバータ（液晶基板及び半導体用高速熱処理装置への適用）

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-39

グループ名: 【D】平成18年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2006/08/21

タイトル(英語): 150kW Inverters for Zone Controlled Induction Heating (ZCIH) (Applications to Rapid Thermal Annealing Equipment for LCD substrates and Semiconductors)

著者名: 内田 直喜(三井造船),尾崎 一博(三井造船),藤田 英明(東京工業大学)

著者名(英語): Naoki Uchida(Mitsui Engineering. & Shipbuilding. Co.,LTD.),Kazuhiro Ozaki(Mitsui Engineering. & Shipbuilding. Co.,LTD.),Hideaki Fujita(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: ゾーンコントロール|誘導加熱|高周波インバータ|相互誘導| Zone　Control| Induction　Heating| High-frequency　inverter| Mutual　Inductance

PDFファイルサイズ: 4,102 Kバイト