相対位置の微分正帰還フィードバックにおけるセンサ分解能の考察

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2008-02-05 00:00:00

グループ名: 【D】平成18年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2006/08/21

タイトル(英語): Consideration of Sensor Resolution in Relative Displacement Positive Differential Feedback

著者名: 長谷川 雄三(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学),高橋 正人(ニコン)

著者名(英語): Yuzo Hasegawa(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology),Masato Takahashi(Nikon)

キーワード: 除振装置|正帰還|共振|センサノイズ| Anti-vibration| Positive feedback| Resonance| Sensor noise

PDFファイルサイズ: 4,910 Kバイト