1軸除振装置の低固有値化の限界

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2008-02-06 00:00:00

グループ名: 【D】平成18年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2006/08/21

タイトル(英語): Limitation of Low Natural Frequency of an Anti-Vibration Apparatus

著者名: 藤原 真樹(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学),高橋 正人(ニコン)

著者名(英語): Masaki Fujiwara(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology),Masato Takahashi(Nikon)

キーワード: アクティブ除振装置|機械インピーダンス|除振率|速度センサ| Active anti-vibration apparatus| Mechanical impedance| Transmissibility| Velocity sensor

PDFファイルサイズ: 1,982 Kバイト