原子間力顕微鏡におけるナノスケールサーボ技術の新展開

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-S6-5

グループ名: 【D】平成18年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2006/08/21

タイトル(英語): Novel Nano-scale Servo Technique on Atomic Force Microscope

著者名: 藤本 博志(横浜国立大学),青木 建吾(横浜国立大学)

著者名(英語): Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University),Kengo Aoki(Yokohama National University)

キーワード: ナノスケールサーボ|原子間力顕微鏡|操作型プローブ|オブザーバ| Nano-scale servo| AFM| scanning probe| observer

PDFファイルサイズ: 5,017 Kバイト