ガルバノミラー式レーザ位置決めサーボ機構の温度上昇による整定波形変化の補償

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-32

グループ名: 【D】平成19年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2007/08/20

タイトル(英語): Compensation for Change in Settling Waveform Caused by Temperature Rise in the Laser-positioning Servomechanism of Galvanometric Mirror

著者名: 遠山聡一 (日立ビアメカニクス),小野 貴志(日立ビアメカニクス),関 健太(名古屋工業大学),廣瀬 徳晃(名古屋工業大学),平井 洋武(名古屋工業大学)

著者名(英語): Souichi Toyama(Hitachi Via Mechanics,Ltd.),Takashi Ono(Hitachi Via Mechanics,Ltd.),Kenta Seki(Nagoya Institute of Technology),Noriaki Hirose(Nagoya Institute of Technology),Hiromu Hirai(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 高速高精度位置決め|トルク定数変動|ガルバノミラー| high-speed and precise positioning|fluctuation of torque constant|galvanometric mirror

PDFファイルサイズ: 5,328 Kバイト