可変忘却要素を用いた適応同定法による超精密ステージの摩擦補償法

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-35

グループ名: 【D】平成19年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2007/08/20

タイトル(英語): Friction Compensation Method of the Nonresonant Ultrasonic Motor (SPIDER)-Driven Precision Stage Based on Adaptive Identification with Variable Forgetting Factor

著者名: 五箇 成輝(群馬大学)

著者名(英語): Shigeki Goka(Gunma University)

キーワード: 超精密ステージ|圧電リニアアクチュエータ|忘却要素|摩擦補償| ultra-precision stage|piezoelectric linear actuator|variable forgetting factor|friction compensation

PDFファイルサイズ: 5,143 Kバイト