空圧式除振装置の元圧・元流量フィードフォワード制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-45

グループ名: 【D】平成19年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2007/08/20

タイトル(英語): Feedfoward Control of Supplied Air Pressure and Flow Fluctuation for an Anti-vibration Apparatus

著者名: 瓜生恭正 (東京農工大学),高橋 正人(ニコン),山本 幸治(ニコン),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Kyosho Uryu(Tokyo University of Agriculture and Technology),Masato Takahashi(NIKON CORPORATION),Kouji Yamamoto(NIKON CORPORATION),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 除振装置|供給空気圧|流量|フィードフォワード| Anti-vibration apparatus|Supplied air pressure|Air flow|Feedfoward

PDFファイルサイズ: 5,399 Kバイト