トンネルアクチュエータによる超精密位置決め装置

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2008-03-04 00:00:00

グループ名: 【D】平成19年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2007/08/20

タイトル(英語): The ultraprecision positioning device by the Tunnel Actuator

著者名: 金 弘中(日立製作所),増田 郁朗(静岡理工科大学),柴田 均(日立設備エンジニアリング),大塚二郎 (静岡理工科大学)

著者名(英語): Houng-Joong Kim(Hitachi,Ltd.),Ikuro Masuda(Shizuoka Institute of Science and Technology),Hitoshi Shibata(Hitachi Setsubi Engineering Co.,Ltd.),Jiro Otsuka(Shizuoka Institute of Science and Technology)

キーワード: リニアモータ|位置決め|高加速度|永久磁石| linear motor|positioning|high acceleration|permanent magnet

PDFファイルサイズ: 5,794 Kバイト