表面形状学習に基づく原子間力顕微鏡のナノスケールサーボ制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-O6-5

グループ名: 【D】平成20年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/27

タイトル(英語): Nanoscale Servo Control of Atomic Force Microscope Based on Surface Topography Learning

著者名: 藤本 博志(横浜国立大学),大島 隆史(横浜国立大学),白石 貴行(横浜国立大学)

著者名(英語): Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University),Takashi Oshima(Yokohama National University),Takayuki Shiraishi(Yokohama National University)

キーワード: 原子間力顕微鏡|ナノスケールサーボ|表面形状オブザーバ|表面形状学習| atomic force microsdope|nanoscale servo|surface topography observer|surface topography learning

PDFファイルサイズ: 6,028 Kバイト