高周波外乱抑圧のための空圧式除振装置の制御手法

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-53

グループ名: 【D】平成20年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/27

タイトル(英語): Control Method of Pneumatic Anti-Vibration Apparatus for High Frequency Disturbance Suppression

著者名: 入江 亮(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学),高橋 正人(ニコン),牧野内 進(ニコン)

著者名(英語): Ryo Irie(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology),Masato Takahashi(Nikon Corporation),Susumu Makinouchi(Nikon Corporation)

キーワード: 空圧系|除振|相対加速度|外乱抑圧| pneumatic|anti-vibration|relative acceleration|disturbance suppression

PDFファイルサイズ: 5,835 Kバイト