空圧式除振装置のサーボバルブ振動低減と定量化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-54

グループ名: 【D】平成20年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/27

タイトル(英語): Reduction of Mechanical Vibration and Quantification of Servo Valve for Air Spring Type Anti-Vibration Apparatus

著者名: 渡辺 智仁(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学),高橋 正人(ニコン),山本 幸治(ニコン),牧野内 進(ニコン)

著者名(英語): Tomonori Watanabe(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology),Masato Takahashi(Nikon Corporation),Koji Yamamoto(Nikon Corporation),Susumu Makinouchi(Nikon Corporation)

キーワード: 除振装置|サーボバルブ|粘弾性体|動吸振器| Anti-vibration apparatus|Servo valve|Viscoelastic material|Dynamic absorber

PDFファイルサイズ: 11,569 Kバイト