空圧式除振装置の供給空気圧変動に対する制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-55

グループ名: 【D】平成20年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/27

タイトル(英語): Control of Supplied Air Pressure Fluctuation for an Anti-vibration Apparatus

著者名: 瓜生恭正 (東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学),高橋 正人(ニコン),山本 幸治(ニコン),牧野内 進(ニコン)

著者名(英語): Kyosho Uryu(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology),Masato Takahashi(Nikon Corporation),Koji Yamamoto(Nikon Corporation),Susumu Makinouchi(Nikon Corporation)

キーワード: 除振装置|供給空気圧|フィードフォワード| Anti-vibration apparatus|Supplied air pressure|Feedfoward

PDFファイルサイズ: 6,330 Kバイト