次世代マッチングコントローラ用制御に関する検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-72

グループ名: 【D】平成20年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/27

タイトル(英語): The Analysis of the Matching Control

著者名: 広瀬 裕己(横浜国立大学),河村 篤男(横浜国立大学),高柳 敦(京三製作所),高田 浩一(京三製作所)

著者名(英語): Yuki Hirose(Yokohama National University),Atsuo Kawamura(Yokohama National University),Atsushi Takayanagi(Kyosan Electric Mfg. Co.,Ltd.),Kouichi Takada(Kyosan Electric Mfg. Co.,Ltd.)

キーワード: インピーダンス・マッチング|マッチャー|RFジェネレータ| Impedance Matching|Matcher|RF Generator

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