コンタクトモードAFMにおけるPTCに基づく表面形状オブザーバの提案と双方向型学習制御への適用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-80

グループ名: 【D】平成20年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/27

タイトル(英語): Proposal of PTC based STO and Application to Dual Direction Learning Control for Contact-mode Atomic Force Microscope

著者名: 白石 貴行(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Takayuki Shiraishi(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University)

キーワード: 原子間力顕微鏡|学習制御|ナノスケールサーボ制御| Atomic force microscope|Learning control|Nano-scale servo control

PDFファイルサイズ: 3,274 Kバイト