超精密ステージの設計製作および超高速ナノスケール位置決めの実験的検証

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-81

グループ名: 【D】平成20年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/27

タイトル(英語): Design Fabrication of High-Precision Stage and Experimental Verification on Ultrahigh-speed Nanoscale Positioning

著者名: 坂田 晃一(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学),原 篤史(ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Koichi Sakata(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University),Atsushi Hara(Nikon Corporation),Kazuaki Saiki(Nikon Corporation)

キーワード: マルチレート制御|PWMホールド|精密ステージ|位置決め| Multirate control|PWM hold|Precision stage|Positioning

PDFファイルサイズ: 4,315 Kバイト