駆動制御技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-S4-4

グループ名: 【D】平成20年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2008/08/27

タイトル(英語): Driving Control Technology

著者名: 涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: ピギーバック|精密ステージ|超音波モータ| Piggy-back|Precision stage|Ultra sonic motor

PDFファイルサイズ: 5,232 Kバイト