高速走査原子間力顕微鏡のためのナノスケールサーボ制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-O4-5

グループ名: 【D】平成21年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2009/08/31

タイトル(英語): Nanoscale servo control for High-speed Scanning Atomic Force Microscope

著者名: 白石 貴行(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学)

著者名(英語): Takayuki Shiraishi(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University)

キーワード: 原子間力顕微鏡|ナノスケールサーボ制御|高速AFM|学習制御| Atomic Force Microscope|Nano-scale servo control|High-speed AFM|Learning control

PDFファイルサイズ: 6,554 Kバイト