VCMを用いた空圧除振装置の供給空気圧変動に対する制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 45704

グループ名: 【D】平成21年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2009/08/31

タイトル(英語): Control of the Position Fluctuation of the Isolated Table Caused by the Supplied Air Pressure Using Voice Coil Motor as an Actuator

著者名: シラニハビブラマン (東京農工大学),柳川 敦志(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Habiburahman Shirani(Tokyo University of Agriculture and Technology),Atsushi Yanagawa(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: Voice coil motor (VCM)|Pneumatic anti-vibration apparatus|Supplied air pressure|Feedforward compensator

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