インチワーム型多自由度マイクロアクチュエータの粗動性能

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-38

グループ名: 【D】平成21年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2009/08/31

タイトル(英語): Coarse Motion of an Inchworm-type Multi-DOF Microactuator

著者名: 鳥井 昭宏(愛知工業大学),坂野正昭 (愛知工業大学),植田 明照(愛知工業大学)

著者名(英語): Akihiro Torii(Aichi Institute of Technology),Masaaki Banno(Aichi Institute of Technology),Akiteru Ueda(Aichi Institute of Technology)

キーワード: 精密ステージ|位置決め|モーションコントロール|インチワーム| precision stage|positioning|motion control|inchworm

PDFファイルサイズ: 3,651 Kバイト