半導体ガスセンサによるドライクリーニング工程の制御の試み

カテゴリ: 部門大会

論文No: Y-59

グループ名: 【D】平成21年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2009/08/31

タイトル(英語): Dry Cleaning Machine Controlled by Semiconductor Gas Sensor

著者名: 中 久枝(和歌山工業高専),達谷慎一 (和歌山工業高専),藤本 晶(和歌山工業高専),澤 浩平(グリーンドライ研究所),服部 敏夫(三菱重工産業機器),竹内 稔郎(三菱重工産業機器)

著者名(英語): Hisae Naka(Wakayama National College of Technology),Shin-ichi Tatsutani(Wakayama National College of Technology),Akira Fujimoto(Wakayama National College of Technology),Kohei Sawa(GreenDry Laboratory),Toshio Hattori(Mitsubishi Heavy Industries Industrial Machinery Co.,Ltd.),Toshiro Takeuchi(Mitsubishi Heavy Industries Industrial Machinery Co.,Ltd.)

キーワード: ドライクリーニング|ガスセンサ| Dry Cleaning|Gas Sensor

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