並進および回転運動を有する剛体モデルを用いた超精密位置決めステージの機構と制御における同時最適化の基礎検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-54

グループ名: 【D】平成22年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2010/08/23

タイトル(英語): Basic Examination of Simultaneous Optimization in Mechanism and Control for Precision Stage as Rigid Body Model which has Translation and Pitching

著者名: 関優志 (横浜国立大学),藤本 博志(東京大学),原 篤史(ニコン　精機カンパニー),山中 貴裕(ニコン　精機カンパニー),佐伯 和明(ニコン　精機カンパニー)

著者名(英語): Yushi Seju(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo),Atushi Hara(Nikon),Takahiro Yamanaka(Nikon),Kazuaki Saiki(Nikon)

キーワード: 超精密位置決めステージ|同時最適化|モード分解|最適設計| Precision Stage|Simultaneous optimization|Mode decomposition|Optimal design

PDFファイルサイズ: 4,378 Kバイト