真空バルブモータの位置決め精度改善 ?軸受変更と剛性シミュレーション?

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-55

グループ名: 【D】平成22年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2010/08/23

タイトル(英語): Positioning Improvement of Gate Valve for Vacuum Use ?Changing of Bearing and Stiffness Simulation?

著者名: 今井 悠介(東京農工大学),関 貴志(東京農工大学),中村 幸紀(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Yusuke Imai(Tokyo University of Agriculture and Technology),Takashi Seki(Tokyo University of Agriculture and Technology),Yukinori Nakamura(Tokyo University of Agriculture and Technology),Shinji Wakui(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 真空バルブモータ|位置決め|軸受|シミュレーション| Gate valve for vacuum use|Positioning|Bearing|Simulation

PDFファイルサイズ: 5,204 Kバイト