コストを含めたSiCウェハの現状と将来展望

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-O1-6

グループ名: 【D】平成23年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/06

タイトル(英語): Present and Future Status of SiC wafers

著者名: 柿本 浩一(九州大学),西澤 伸一(産業技術研究所)

著者名(英語): Koichi Kakimoto(Kyushu University),Shin-ichi Nishizawa(AIST)

PDFファイルサイズ: 3,884 Kバイト