ボールねじ駆動テーブル装置の微動領域に特化したフィードバック制御系設計

カテゴリ: 部門大会

論文No: 45716

グループ名: 【D】平成23年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/06

タイトル(英語): Feedback Controller Design of Ball Screw-driven Table System in Microscopic Displacement Region

著者名: 甲木裕一 (名古屋工業大学),伊藤 和晃(豊田工業高等専門学校),前橋 亘(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Yuichi Katsuki(Nagoya Institute of Technology),Kazuaki Ito(Toyota National College of Technology),Wataru Maebashi(Nagoya Institute of Technology),Makoto Iwasaki(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 微動領域|高速・高精度位置決め|ボールねじ駆動テーブル装置| microscopic displacement region|fast and precise positioning|ball screw-driven table system

PDFファイルサイズ: 9,216 Kバイト