ボールねじ駆動ステージにおける複数センサを用いた自己共振相殺制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-39

グループ名: 【D】平成23年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/06

タイトル(英語): Self Resonance Cancellation using Multiple Sensors for Ballscrew Driven Stage

著者名: 坂田 晃一(ニコン),佐伯 和明(ニコン),藤本 博志(東京大学)

著者名(英語): Koichi Sakata(Nikon Corporation),Kazuaki Saiki(Nikon Corporation),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo)

キーワード: ボールねじ駆動ステージ|複数センサ|高帯域化|精密位置決め| ballscrew driven stage stage|multiple sensors|high bandwidth design|precise positioning

PDFファイルサイズ: 4,893 Kバイト