ガントリ型精密位置決めステージにおけるSRCを用いた最適機構設計の提案

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-86

グループ名: 【D】平成23年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/06

タイトル(英語): Proposal of Optimum Mechanical Design Using SRC Control for Gantry-type Precision Stage

著者名: 関 優志(東京大学),藤本 博志(東京大学),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Yushi Seki(The University of Tokyo),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo),Kazuaki Saiki(Nikon Corporation)

キーワード: 超精密位置決めステージ|フィードバック制御|回転運動|自己共振相殺制御| High-precision stage|Feedback Control|Pitching|Self Resonance Control

PDFファイルサイズ: 5,320 Kバイト