超音波近接場音波浮揚を利用した2次元非接触搬送法における駆動力の発生メカニズム

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-54

グループ名: 【D】平成23年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/06

タイトル(英語): Mechanism of driving force generation in two-dimensional non-contact transfer method by near-field ultrasonic levitation

著者名: 古谷 克司(豊田工業大学),小野 政貴(豊田工業大学)

著者名(英語): Katsushi Furutani(Toyota Technological Institute),Masataka Ono(Toyota Technological Institute)

キーワード: 圧電アクチュエータ|超音波振動|圧力|進行波| piezoelectric actuator|ultrasonic vibration|pressure|traveling wave

PDFファイルサイズ: 4,366 Kバイト