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カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-S4-6

グループ名: 【D】平成23年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2011/09/06

タイトル(英語): In the Cause of Reliability, Safety and Comfort - Useful Technologies for Improving Quality and Accuracy -

著者名: 押野谷 康雄(東海大学),田中 慶一(ニコン)

著者名(英語): Yasuo Oshinoya(Tokai University),Keiichi Tanaka(Nikon Corporation)

キーワード: 露光装置|静圧軸受|リニアモータ|薄鋼板| Lithography tool|Static air bearing|Linear motor|Thin steel plate

PDFファイルサイズ: 6,875 Kバイト