ガルバノスキャナにおける位置決め誤差解析の一手法

カテゴリ: 部門大会

論文No: 45699

グループ名: 【D】平成25年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2013/08/28

タイトル(英語): An Analysis Method of Positioning Error for Galvanometer Scanners

著者名: 松家 大介(日立製作所),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Daisuke Matsuka(Hitachi,Ltd.),Makoto Iwasaki(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 高速・高精度位置決め|プロニー解析法|転がり軸受|ガルバノスキャナ| high-speed and precise positioning|prony analysis|ball bearing|galvanometer scanner

PDFファイルサイズ: 3,532 Kバイト