ガルバノスキャナにおける高速高精度位置決め制御系の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-S8-3

グループ名: 【D】平成26年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2014/08/26

タイトル(英語): Development of High-speed and Precise Positioning for Galvanometer Scanners

著者名: 松家 大介(日立製作所),関 健太(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Daisuke Matsuka(Hitachi,Ltd.),Kenta Seki(Nagoya Institute of Technology),Makoto Iwasaki(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: ガルバノスキャナ|転がり軸受|プロニー解析法|高速・高精度位置決め| galvanometer scanner|ball bearing|prony analysis|high-speed and precise positioning

PDFファイルサイズ: 726 Kバイト