自己共振相殺制御と精密位置決めステージへの応用事例紹介

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-S8-4

グループ名: 【D】平成26年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2014/08/26

タイトル(英語): Introduction of Self Resonance Cancellation and Its Application to High-Precision Stages

著者名: 坂田 晃一(ニコン),佐伯 和明(ニコン),藤本 博志(東京大学)

著者名(英語): Koichi Sakata(Nikon Corporation),Kazuaki Saiki(Nikon Corporation),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo)

キーワード: 精密ステージ|複数センサ|フィードバック制御|高帯域化| high-precision stages|multiple sensors|feedback control|high bandwidth design

PDFファイルサイズ: 889 Kバイト