圧電駆動型位置決めステージにおけるマイナーループを含むロバスト制振制御系設計

カテゴリ: 部門大会

論文No: 45715

グループ名: 【D】平成27年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/02

タイトル(英語): Controller Design with Minor-loop Considering Robust Vibration Suppression in Piezo-Driven Stages

著者名: 野田 大輔(名古屋工業大学),関 健太(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Daisuke Noda(Nagoya Institute of Technology),Kenta Seki(Nagoya Institute of Technology),Makoto Iwasaki(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 圧電アクチュエータ|高精度位置決め|制振制御|位相安定化設計| piezoelectric actuators|high precision positioning|vibration suppression|phase stabilization design

PDFファイルサイズ: 1,083 Kバイト