複数アクチュエータの回転中心・重心点ハイブリッド駆動法による超精密ステージの非干渉化制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-29

グループ名: 【D】平成27年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/02

タイトル(英語): Decoupling Control for High-Precision Stages by the Center of Rotation and Gravity Hybrid-Driven Method using Multiple Actuators

著者名: 大西 亘(東京大学),藤本 博志(東京大学),坂田 晃一(ニコン),鈴木 一弘(ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Wataru Ohnishi(The University of Tokyo),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo),Koichi Sakata(Nikon Corporation),Kazuhiro Suzuki(Nikon Corporation),Kazuaki Saiki(Nikon Corporation)

キーワード: 複数アクチュエータ|非干渉化|機構と制御の統合設計|超精密ステージ| multiple actuators|decoupling control|integrated design of mechanism and control|high-precision stage

PDFファイルサイズ: 2,438 Kバイト