サファイア基板上窒化ガリウム層の表面形状及び表面電位観測

カテゴリ: 部門大会

論文No: Y-68

グループ名: 【D】平成27年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/02

タイトル(英語): Surface potential measurements of Gallium nitride on sapphire

著者名: 潤間威史 (千葉工業大学),佐藤宣夫 (千葉工業大学),石川 博康(芝浦工業大学)

著者名(英語): Takeshi Uruma(Chiba Institute of Technology),Nobuo Satoh(Chiba Institute of Technology),Hiroyasu Ishikawa(Shibaura Institute of Technology)

キーワード: 表面電位|窒化ガリウム|原子間力顕微鏡|ケルビンプローブフォース顕微鏡| Surface potential|Gallium nitride|Atomic force microscope|Kelvin probe force microscope

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