AFM/KFMを用いたミスト法及び真空蒸着法によるα-NPD薄膜の電子物性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: Y-71

グループ名: 【D】平成27年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2015/09/02

タイトル(英語): Electrical properties of organic semiconductor film by mist deposition and vacuum evaporation using AFM/KFM measurement

著者名: 小高 晃裕(千葉工業大学),佐藤宣夫 (千葉工業大学),香取 重尊(津山工業高等専門学校)

著者名(英語): Akihiro Odaka(Chiba Institute of Technology),Nobuo Satoh(Chiba Institute of Technology),Shigetaka Katori(Tsuyama National College of Institute of Technology)

キーワード: ミストデポジション法|真空蒸着法|原子間力顕微鏡|ケルビン力プローブ顕微鏡| mist deposition|vacuum evaporation|atomic force microscope|Kelvin probe force microscope

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