並列インダクタ接続型プラズマ発生用高周波インバータの実証評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 1-77

グループ名: 【D】平成28年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2016/08/30

タイトル(英語): Experimental Evaluation of High-frequency Inverter with Parallel Connected Inductor for Plasma Generator

著者名: 板倉 康仁(岡山大学),掛水 浩晃(岡山大学),中井戸 博樹(岡山大学),梅谷 和弘(岡山大学),平木 英治(岡山大学),池成 達也(ダイヘン),河野 真吾(ダイヘン)

著者名(英語): Koji Itakura|Hiroaki Kakemizu|Hiroki Nakaido|Kazuhiro Umetani|Eiji Hiraki|Tatsuya Ikenari|Shingo Kawano

キーワード: 高周波インバータ|プラズマ発生装置|ソフトスイッチング|容量性負荷, High-frequency inverter|Plasma generator|Soft-switching|Capacitive load

PDFファイルサイズ: 1,354 Kバイト