空圧ステージに対する圧力フィードバック付きモデル追従制御の適用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 45703

グループ名: 【D】平成29年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2017/08/29

タイトル(英語): Application of Model Following Control with Pressure Feedback to Pneumatic Stage

著者名: 武井 陸(東京農工大学),涌井 伸二(東京農工大学)

著者名(英語): Riku Takei|Shinji Wakui

キーワード: 空圧ステージ|モデル追従制御|位置決め, Pneumatic stage|Model following control|Positioning

PDFファイルサイズ: 630 Kバイト