SOI基板を用いたSuper-Junction構造を有する横型自己バイアスチャネルダイオードの3次元シミュレーション

カテゴリ: 部門大会

論文No: Y-67

グループ名: 【D】平成29年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2017/08/29

タイトル(英語): 3D Simulation of Lateral Self-bias Channel Diode with Super-Junction Structure using SOI Substrate

著者名: 石渡 茂之(神奈川工科大学),工藤 嗣友(神奈川工科大学),對馬 広隆(東北学院大学),菅原 文彦(東北学院大学)

著者名(英語): Taro Ishiwata|Tsugutomo Kudo|Hirotaka Tsushima|Fumihiko Sugawara

キーワード: 3D解析|ラテラル型|自己バイアスチャネル|SOI, 3D Analysis|Lateral type|Self-baised channel|SOI

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