微小変位計測装置の変位検出感度の算出および評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: Y-71

グループ名: 【D】平成29年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2017/08/29

タイトル(英語): Calculation and evaluation of displacement detection sensitivity of micro displacement measurement

著者名: 西川 良介(千葉工業大学),佐藤 宣夫(千葉工業大学)

著者名(英語): Ryosuke Nishikawa|Nobuo Satho

キーワード: 微小変位計測|変位検出感度| Micro displacement measurement|Displacement detection sensitivity

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