散逸力変調方式による走査型容量原子間力顕微鏡の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: Y-89

グループ名: 【D】平成30年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2018/08/28

タイトル(英語): Development of scanning capacitance force microscope by the dissipative force modulation method

著者名: 潤間 威史(静岡大学),佐藤 宣夫(千葉工業大学),山本 秀和(千葉工業大学),岩田 太(静岡大学)

著者名(英語): Takeshi Uruma|Nobuo Satoh|Hidekazu Yamamoto|Futoshi Iwata

キーワード: 走査型プローブ顕微鏡|ナノイメージング, Scanning probe microscope|Nano imaging

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