ガルバノスキャナにおける精密サーボ技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-S7-1

グループ名: 【D】2019年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/20

タイトル(英語): High Precision Servo Technologies in Galvano Scanners

著者名: 関 健太(名古屋工業大学)

著者名(英語): Kenta Seki()

キーワード: ガルバノスキャナ|サーボ制御|高速高精度位置決め|機構振動, galvano scanner|servo control|fast and high precision positioning|mechanical vibration

PDFファイルサイズ: 354 Kバイト