大型超精密位置決めステージのモデルベースト制御技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: 2-S7-4

グループ名: 【D】2019年電気学会産業応用部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/20

タイトル(英語): Model based Control Techniques for Large Scale High Precision Stage

著者名: 大西 亘(東京大学),藤本 博志(東京大学),坂田 晃一(ニコン)

著者名(英語): Wataru Ohnishi|Hiroshi Fujimoto|Koichi Sakata

キーワード: モデルベース制御|精密位置決め制御|フィードフォワード制御|フィードバック制御, Model based control|Precision motion control|Feedforward control|Feedback control

PDFファイルサイズ: 1,047 Kバイト